SAILES I-CLASS

为客户提供全流程缺陷检测和管理方案，大幅提升问题定位效率与分析一致性，加速从检测到量产改善的闭环流程。基于光学检测结果与几何图案相似性对版图进行智能分类与聚合，高效筛选出具有代表性的样本，显著降低缺陷复检设备(SEM Review)负载；配合SAILES I-Metro，I-Class可进一步对缺陷进行深度分组(Grouping)，逐步沉淀出高可信度的热点库(Hotspot Base)，为后续良率分析与工艺优化提供数据基础。