幻灯片16

SAILES I-QMRC

专为掩模制造前数据验证而设计的快速规则检查工具,全面支持Job Deck文件及OPC后版图(OASIS/GDSII)的高效几何评估。覆盖多维度尺寸、微细特征与图形质量检查,精准识别潜在违规,在制造前及早暴露风险,确保掩模数据具备可靠的可制造性。

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