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幻灯片15
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SAILES I-MQC

提供掩模版量测数据图形的自动处理、缺陷自动分类，以及复杂掩模版图形质量的量化表征，可以有效保证掩模版制造厂与晶圆厂得到高质量的掩模版，显著提升掩模版的研发和生产效率。

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