SAILES I-SMO
面向先进节点的关键分辨率增强技术(RET)，通过协同优化照明光源与掩模图案，显著提升NILS、MEEF和DOF，并扩大曝光宽容度，有效降低关键尺寸对剂量波动的敏感度，最大化光刻工艺窗口。
面向先进节点的关键分辨率增强技术(RET)，通过协同优化照明光源与掩模图案，显著提升NILS、MEEF和DOF，并扩大曝光宽容度，有效降低关键尺寸对剂量波动的敏感度，最大化光刻工艺窗口。
