SAILES I-SRAF

提供多样化脚本模板灵活定义1D与2D辅助图形，支持正、负亚分辨率辅助图形(SRAF)插入，以最大化工艺窗口。用户可自定义清理规则，精细应对各类复杂插入场景，在提高光刻分辨率的同时保持版图规则性，实现稳健的工艺窗口扩展。