幻灯片2

SAILES I-MP

专为先进节点打造,采用工艺感知的智能着色算法,全面支持双重/三重/四重图案化技术(Double/Triple/Quadruple Patterning)

不仅能精准实现多重图形分配,自动规避间距冲突,更能基于锚点(Anchor)实现关键特征的固定配色与精准定位,确保跨掩模一致性。

首页    计算光刻系列产品    SAILES I-MP