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幻灯片2
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SAILES I-MP

专为先进节点打造,采用工艺感知的智能着色算法,全面支持双重/三重/四重图案化技术(Double/Triple/Quadruple Patterning)。

不仅能精准实现多重图形分配,自动规避间距冲突,更能基于锚点(Anchor)实现关键特征的固定配色与精准定位,确保跨掩模一致性。

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