幻灯片25

SAILES I-PEM

通过内置的工艺模型库和布局感知的仿真引擎,快速重建高精度3D结构,并准确反映工艺变化对器件形貌的影响。支持从沉积、刻蚀到抛光等全流程虚拟工艺集成,使用户在无需大量试片的情况下即可评估方案可行性、识别潜在问题并优化制程条件。

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