SAILES I-ORC

作为OPC修正后至流片前的仿真级签核关键环节，提供涵盖单层断点、桥接、边缘放置误差与尺寸误差，层间覆盖、包围以及MEEF、NILS等图像质量的全面检查。内置快速图形分组功能助力热点高效分类，结合仿真轮廓与目标图形的堆叠对比可视化，让多种检查结果一目了然，确保掩模修正的最终交付质量与工艺鲁棒性。