SAILES I-Model

面向先进节点的光学邻近效应建模工具，融合先进光学、三维掩模及PTD与NTD光刻胶模型。光学模型实现优异的成像强度和近场信号与FDTD严格仿真的匹配。专门开发的复杂NTD光刻胶模型，具有极高的精度和良好的泛化性，已在客户端获得良好反馈，满足先进工艺节点精度要求。